IBO系统显微物镜及配套高精密管镜
光刻套刻精度测量以基于基于衍射的测量技术（DBO）和基于图像的测量技术（IBO）为主。齐之明聚焦基于IBO的套刻测量设备，设计研发满足相应技术需求的IBO系统显微物镜。该系列物镜具备极高的像差校正和高数值孔径（NA），能提供卓越的分辨率和精度，适用于套刻精度测量和半导体关键尺寸（CD）检测，能够精准测量晶圆表面图形的对准与重叠精度。
与之配套的高精密管镜与IBO系统显微物镜完美配合，能进一步优化光学路径的一致性和稳定性，保证高分辨率成像效果，满足严格的测量精度要求。
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