晶圆缺陷检测
来源: 发布时间:2024-11-05 18:51 访问次数 :878

针对晶圆表面微小缺陷检测的应用场景,齐之明自主研发的大NA显微物镜,可提供高分辨率成像和卓越的对比度,能精确捕捉纳米级缺陷,适合复杂纳米结构的明场与暗场成像。

同时,为提供更高的检测灵敏度,齐之明结合干涉成像技术,研发设计了干涉显微光学模组,显著提升了对表面缺陷的分辨能力和对比度,特别适用于复杂层叠结构的深度分析,助力高效缺陷定位与检测。


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