超大视场介官双光子显微镜
双通道共定位纳米颗粒示踪分析仪
结构光照明荧光超分辨显微镜
大视场高分辨光层析显微镜
低温显微物镜
大视场显微物镜
宽波段显微物镜
高NA显微物镜
图像全站仪测量系统
四目立体视觉位姿测量仪
纳星敏物镜
偏心间隔一体化测试仪
非接触光学元件测试仪
套刻精度量测
晶圆缺陷检测
掩膜检测与修复
AOI检测
照明系统
其它深度定制物镜
针对晶圆表面微小缺陷检测的应用场景,齐之明自主研发的大NA显微物镜,可提供高分辨率成像和卓越的对比度,能精确捕捉纳米级缺陷,适合复杂纳米结构的明场与暗场成像。
同时,为提供更高的检测灵敏度,齐之明结合干涉成像技术,研发设计了干涉显微光学模组,显著提升了对表面缺陷的分辨能力和对比度,特别适用于复杂层叠结构的深度分析,助力高效缺陷定位与检测。