超大视场介官双光子显微镜
双通道共定位纳米颗粒示踪分析仪
结构光照明荧光超分辨显微镜
大视场高分辨光层析显微镜
低温显微物镜
大视场显微物镜
宽波段显微物镜
高NA显微物镜
图像全站仪测量系统
四目立体视觉位姿测量仪
纳星敏物镜
偏心间隔一体化测试仪
非接触光学元件测试仪
套刻精度量测
晶圆缺陷检测
掩膜检测与修复
AOI检测
照明系统
其它深度定制物镜
为提升半导体检测设备的成像质量，高均匀宽波段照明物镜提供从深紫外到可见光的均匀照明，减少图像阴影和亮度不均现象，确保在多种检测模式下的稳定表现。
此外，齐之明还提供对焦（追焦）光学模组以满足动态检测需求。该模组采用智能自动对焦技术，能快速响应变化的检测对象，保持图像始终清晰。
